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UHV-TPD Workstation?超高真空TPD工作站	SIMS Workstation?二次離子質(zhì)譜工作站
Hiden UHV-TPD工作站是專為超高真空熱脫附研究而設(shè)	Hiden SIMS?工作站,，綜合UHV/SIMS?設(shè)備,，進行高級的表
計的,。	面分析。
●?帶有觀測窗和樣品加熱臺的真空室	●?各類型樣品的快速轉(zhuǎn)換
●?帶脈沖離子計數(shù)檢測器的三級過濾四極質(zhì)譜儀	●?靜態(tài),、動態(tài)SIMS
（Hiden 3F/PIC）	●?整體的離子源,，用于RGA/SNMS
●?質(zhì)量數(shù)范圍：1～300、510,、1000aum	●?表面修飾/光柵研究
●?快速質(zhì)譜數(shù)據(jù)采集：>500數(shù)據(jù)點/秒	●?SIMS?表面形態(tài)/成像
●?工作站含有操作軟件,，可自動控制樣品溫度	●?表面污染物分析
●?TPD常規(guī)分析，包括質(zhì)譜峰的積分和反褶積計算等	●?正,、負離子,、中性粒子、自由基的質(zhì)量,、能量分析儀
●?樣品可加熱到1000℃	●?讀數(shù)電子槍（選配）用于絕緣體研究時的電荷中和
●?密閉,、自動裝樣器	●?快速樣品傳遞，樣品固定,，負載鎖定的操縱器
●?智能操作軟件控制實驗操作	●?4?軸：X,Y,Z,θ UHV?操縱器,，以定位樣品
?	●?加上ESM LabVIEW SIMS成像程序，進行SIMS元素成像
?	●?靜態(tài)SIMS光譜資料庫可用

SPACI-MS?空間分辨質(zhì)譜儀	Compact SIMS小型二次離子質(zhì)譜儀
SPACI-MS是一臺商業(yè)的空間分辨質(zhì)譜儀,，可以	完備的二次離子質(zhì)譜和二次中性粒子譜系統(tǒng),，一種簡單而快
進行徑向和軸向的物質(zhì)檢測和溫度分布繪圖，具有極高空	速的工具,，用于分析樣品層狀結(jié)構(gòu),、表面污染和雜質(zhì)含量。
間和時間分辨率,，可以排除溫度和氣流的干擾,。16路進氣	靈敏的正離子檢測，在全質(zhì)量數(shù)范圍內(nèi)提供同位素分辨率,。
口,，連接到hiden的質(zhì)譜上可以自動、快速地繪制溫度和	離子槍的設(shè)計,，可以提供納米級的深度分辨率和近表面分析,。
氣體分布譜圖。	●?體積小巧
?	●?體積小巧
●?發(fā)動機催化反應(yīng)	●?10個樣品裝載
●?尾氣排放	●?深度剖析
●?燃料電池研究	●?僅需單相電源（<10A）
●?非熱平衡等離子體反應(yīng)	●?正二次離子質(zhì)譜和二次中性粒子譜
●?定量分析反應(yīng)器內(nèi)的瞬態(tài)和分布	●?移動車的設(shè)計
●?高時間分辨和小的擾動	●?3D表征和成像
●?空間分辨：0.1mm	●?質(zhì)譜圖
●?軸向驅(qū)動：0～300mm	●?同位素分析

表面科學(xué)分析儀